Arbeitsgebiete
Hmmh, dem einen oder anderen mag es die Vielzahl der Themen im folgenden wie Aufschneiderei vorkommen.
Oder nicht zielgerichtetes Arbeiten. Dem ist aber nicht so. Der
Schwerpunkt meiner Tätigkeiten lag immer bei Phänomenen an Grenz- und Oberflächen. Dazu zählen
auch dünne Schichten! Dass dies später ein Schwerpunkt werden sollte: na ja, das ist eben so.
Aufgabengebiete am Institut für technische Physik in Kassel
Diplomarbeit: Charakterisierung von III/V Halbleiteroberflächen durch integrale Photolumineszenz
Ein spezielles Problem bei der Passivierung von III/V Halbleitern ist die Herstellung eines Dielektrikums. Leicht
abzuscheidende arteigene Oxide besitzen nicht die erforderlichen elektrischen Eigenschaften. Andererseits gibt es
kaum "sanfte" Abscheidemethoden für artfremde Oxide. Bei fast allen notwendigen Schritten wird die Oberfläche
des GaAs oder InP degradiert (Zunahme der Oberflächenzustandsdichte), so daß eine in-situ Kontrolle
der Oberflächeneigenschaften erforderlich ist.
Eine Apparatur zur Analyse der elektronischen Qualität der Oberfläche während
- naßchemischen Ätzens
- Annealen
- Plasmadeposition von SiO2
- verschiedenen Vakuumprozeßen
wurde entwickelt, aufgebaut und vollstädig charakterisiert.
Und weil Kassel eine schöne Stadt ist, bin ich dort zur Promotion geblieben:
- Entwicklung von neuartigen Prozessen zur Herstellung von funktionalen duennen Filmen, hier insbesondere MO(PE)CVD.
Was heute eine Selbstverständlichkeit in der Halbleiterbranche ist, steckte damals in den Kinderschuhen. Wir haben damit insbesondere
neue Wege zur Herstellung oxidischer Schichten wie SiO2, TiO2, ZrO2, HfO2 und ZnO2.
- selbststaendige Durchfuehrung aller dazu noetigen Schritte (BMFT-Verbundprojekt mit Schott und Carl Zeiss)
- Wartung, Betreuung und Fortentwicklung der bestehenden CVD Anlage
Na, und weil nicht alle an der Uni arbeiten können, habe ich mir halt einen neuen Job gesucht. Einer der Projektpartner des
oben genannten Verbundprojektes suchte einen Mitarbeiter, und so sind wir nach München gezogen:
Schwerpunkte bei Plasmos in Muenchen
- Leitung der Multikammerprojekte der Fa. Plasmos.
(Darstellung, Berichterstattung, Umsetzung der Vorgaben der
Projektpartner, Koordination der Arbeiten der verschiedenen Abteilungen
Software, Konstruktion und Fertigung)
- Organisation des Services fuer Plasma- und Anodic Bonding Anlagen
- Leitung der Prozessentwicklungsabteilung zugleich Bemusterungslabor
- Fallweise Uebernahme von Vertriebsaufgaben (Messevertretungen,
technische Beratungen)
München ist keine so schöne Stadt, fanden wir nach einiger Zeit. Mit viel Hoffnung im Gepäck ging es dann Ostwärts:
Taetigkeiten am Lehrstuhl Experimentalphysik in Cottbus
- Patent "Verfahren und Vorrichtung zur Praeparation von Strukturen in duennen Schichten durch Direktbeleuchtung einer fotoempfindlichen
Schicht"
- Entwicklung, Konstruktion und Aufbau einer UHV Apparatur zur Thermischen Desorption Massenspektroskopie (TDS) an Festkoerperproben
- Durchfuehrung eines bilateralen Forschungsprojektes mit dem Institute of Electronic
Structure and Laser, FORTH, Iraklio (GR)
Auch in Cottbus beschäftigte ich mich mit der Physik dünner Schichten und
den Phänomenen an Grenz- und Oberflächen.
Unileben ist aber nichts für mich. Gründe dafür gibt es viele. Weil aber Cottbus zu unserer neuen Heimat geworden war, waren wir alle
froh, dass wir dort noch weitere sechs Jahre bleiben konnten:
Arbeitsgebiete bei Ikarus Coatings
- Leitung des eigenstaendigen Produktionsbetriebes (max. 23 Mitarbeiter) fuer solartechnische Halb- und Fertigprodukte
- Hauptverantwortlich fuer Metallfolienbeschichtungsanlage
- Entwicklung eines neuartigen Roehrenkollektors (inkl. Prototyping, Vorserien- und Serienfertigung)
- neue Verfahren zum waermearmen Fuegen von Metallen
- diverse kleine und grosse Forschungsvorhaben: zB Optimerecell -
Entwicklung kostenguenstiger Brennstoffzellen für automobile Anwendungen
Ikarus Coatings gehörte zu Ikarus Solar mit Zentrale in Kempten. Weil man sich dort verspekulierte, ging auch unser, gesunder, Betriebsteil mit in
die Konkursmasse ein. Da unsere Techniken sich gut veräussern liessen, wurde mit dem Verkauf die Zentrale in Kempten saniert und
der Standort in Vetschau geschlossen. Für unsere Familie hiess es damit, wir müssen unsere Heimat verlassen.
Wenn die Zeit kommt, gibt es auch Neuigkeiten hierüber...
Ziele
Spannende Projekte in den Bereichen Duennschichttechnologie und/oder
Solartechnik mitzubestimmen.